一種利用浸漬螫合摻雜技術製備透明導電氧化鋅薄膜之方法，主要是於主金屬鹽類的溶膠系統中加入具有官能基的聚合體或共聚合體，利用聚合體分子的存在，增大晶粒的距離，使晶粒不因氫鍵而團聚，並經由濕式塗佈成膜法及熱處理程序，將主金屬鹽類的溶膠液先製成主金屬前驅薄膜，然後配製含有?雜元素的溶液，再將主金屬前驅薄膜浸入?雜元素的溶液中，進行浸漬螯合反應。此措施的目的，在於使存在於主金屬前驅薄膜中的聚合體分子官能基，可以經由螯合反應捕捉溶液中的摻雜物離子而進行薄膜的摻雜。而此措施之優點，可以使摻雜物離子均勻的分布於前驅薄膜中，因而避免摻離子的團聚現象。改善晶粒的團聚，可以降低薄膜的孔隙度和增加薄膜質地的緻密性，其薄膜的導電度也因而獲得提昇。