一種探針針尖修飾方法包括以下步驟：於一真空腔體中之探針之針尖周圍提供一修飾材料之前驅物；於該探針之針尖附近設定一掃描區域，並將一非平行於該探針之電荷束以掃描方式射入該掃描區域內，該針尖係位於該掃描區域之上緣與下緣之間，該探針及該前驅物受該電荷束衝擊而分別產生二次電子及修飾材料離子，修飾材料離子與二次電子結合形成修飾材料並沉積於該針尖；及該掃描區域與該探針沿一預定方向相對移動，使該修飾材料沿著該預定方向沉積形成一針柱。藉此，可在探針針尖達成局部、選擇性、精確的沉積效果，大幅提升探針的空間解析度。