一種微球透鏡與其陣列的製造方法，首先於基板上沉積一層親水性較高之一第一金屬層，再利用黃光微影技術於基板上形成之單一微圓柱光組或微圓柱光阻陣列，然後再將親水性較低之一第二金屬層沉積覆蓋於其上，之後利用舉離(Lift-off)法去除光阻，以形成金屬膜之單一微圓孔洞(Micro-hole)或微圓孔洞陣列，爾後利用黃光微影技術於該單一微圓孔洞或微圓孔洞陣列置入透鏡材料，且進行熱融回流(Thermal Reflow)，藉由沉積之金屬層與基板親水性的差異及利用金屬膜之單一微孔洞或微圓孔洞陣列訂出熱熔擴散範圍，得以將柱形光阻轉換成球形之微球透鏡或微球透鏡陣列。