一種微型整合式生物感測器，利用標準生物醫學微機電製程(CMOS Bio-MEMS)製作一含感測電路之生物感測器，其中包含一指叉狀電極結構與振盪電路。在結構上利用自組性單層薄膜技術將高分子化合物修飾在金層表面上形成一自組性單層薄膜，再將對於特定物質具有高度單一性的感測元件修飾於該自組性單層薄膜上。當感測薄膜吸附特定物質時，使上述電極結構的介電係數發生改變，造成電容變化，感測電路將該電容變化轉換為頻率輸出，據以測量該特定物質的濃度。