一種複合薄膜之微氣體感測裝置及其結構，分為電阻式與電容式。其中該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置，係為利用電阻變化來測量待測氣體的分子濃度變化量，該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含：一複合薄膜、一電阻式微氣體感測器及一放大電路。而電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置，係為利用電容變化來測量待測氣體的分子濃度變化量，該電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含：一複合薄膜、一電容式微氣體感測器及一震盪電路。